將資料傳遞至相鄰模組的菊鏈連接
CASE · CdTe
光子計數LSI
- 方式逐一計數光子,並依能量鑑別
- 背面讀出於ASIC晶圓形成TSV,背面為兩層RDL
- 串接以菊鏈將資料傳遞至相鄰模組
像素設計從晶片整體構成、像素重複單位的區塊,一路到單一像素內電路元件的佈局,全程一併決定。
為自家Imaging產品設計的兩種ASIC。
將資料傳遞至相鄰模組的菊鏈連接
單一像素 → 32×32區塊 → ASIC 256×256像素 → 以4×4組成1024×1024像素
| 電路方式 | 光子計數型(逐一計數光子並依能量鑑別)/電荷積分型(CTIA) |
|---|---|
| 結構 | 與檢測元件接合的hybrid結構(以TSV為前提) |
| 間距轉換 | 以RDL(重佈線層)配合接合對象的電極間距 |
| 背面讀出 | 以TSV將訊號引出至背面,四邊相互拼接進行拼貼 |
| 製造 | 與設計合作夥伴共同確定電路與佈局,由晶圓代工廠製造晶圓。透過晶粒分選測試篩選良品 |
| 狀態 | 個別洽詢 |
依檢測元件特性,選擇逐一計數光子的光子計數型,或累積電荷後讀出的積分型(CTIA)。積分型分別保持重置值與訊號值並取其差值,以抵消各像素間的偏差。
直接讀取佈局資料,確認階層與配線的連接。將PD元件的解析結果銜接至像素電路設計,並估算接合後的雜訊。
※所刊載的圖為介紹手法而為網站繪製,不包含實際產品或試製品的電路與資料。
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