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01 / Imaging

X光影像感測器

從半導體設計、小晶片封裝到相機裝置化一貫開發。預計以現行的CdTe PhotonCounting FPD為基礎,透過拼接技術實現大面積化的尺寸擴展。

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CdTe PhotonCounting FPD本體與X光攝像展示的合成示意圖
PRODUCT · 01

CdTe PhotonCounting FPD

  • 感測器CdTe
  • 偵測方式直接轉換 / 光子計數
  • 有效攝像區域115.2 x 115.2mm
  • 狀態工程樣品
CdTe PhotonCounting Line Sensor的產品示意圖(3D建模)
PRODUCT · 02

CdTe PhotonCounting Line Sensor

  • 感測器CdTe
  • 偵測方式直接轉換 / 光子計數
  • 狀態開發中
3D CMOS FPD的堆疊結構示意圖(隔牆型閃爍體與讀出CMOS的堆疊)
PRODUCT · 03

3D CMOS FPD

  • 感測器隔牆型GoS / 隔牆型CsI
  • 偵測方式間接轉換 / 積分
  • 狀態開發中
SERVICES

委託量測・委託攝像

提供使用CdTe PhotonCounting FPD及閃爍體方式FPD的委託量測服務。使用開發中感測器(3D CMOS等)的樣品評估,請參閱各產品頁面的攝像案例。

X光源、試樣與偵測器的位置關係,以及穿透影像/CT斷面的輸出範例
  • 支援偵測方式CdTe直接轉換型與閃爍體方式皆可支援
  • 用途非破壞性檢測、材質辨識等現有產品可涵蓋的各類攝像需求
PROCESS

開發・製造流程

從偵測器核心的半導體設計、小晶片封裝,到完成相機裝置。Imaging產品的製造流程全由公司內部一貫負責,因此能依用途調整規格。

01 / PROCESS

半導體設計

雷射摻雜形成接合的斷面圖

以低溫・低壓的雷射摻雜接合CdTe晶體與電極,並結合蒸鍍・微影・電鍍,製造以像素為單位的元件。

  • 低溫製程排除會劣化晶體特性的熱損傷,維持CdTe的偵測性能。
  • 低壓接合抑制對脆弱半導體的機械應力,防止破裂與變形。
02 / PROCESS

小晶片封裝

接合偵測元件與ASIC這兩種不同的半導體,使其作為單一感測器運作的封裝技術。

  • 元件製程
    金色軟性電路板向四方延伸的感測器模組實拍照片
    運用蒸鍍・微影・電鍍・雷射摻雜製造像素元件。
  • ASIC開發・加工
    搭載讀出積體電路(ASIC)的評估基板實拍照片凸塊陣列的顯微鏡照片
    考量元件特性與封裝結構的讀出積體電路開發。背面讀出所需的TSV加工。
  • 封裝製程
    Ag膏凸塊接合部的斷面SEM照片
    運用印刷・電鍍形成20μmΦ以下的凸塊,以及2.5D/3D封裝。
03 / PROCESS

相機裝置化

CdTe PhotonCounting FPD本體與X光攝像展示的合成示意圖

將接合後的感測器・ASIC進行拼接,組裝成相機裝置。透過拼接技術,可利用相同基本模組的組合,推出不同尺寸的產品。

04 / PROCESS

評估・量產對應

安裝於廠區管線上的檢測機器人實機照片

從感測器晶體到設備,多數工序皆由公司內部完成(其他公司主要仰賴採購・外包)。試作與委託服務亦由公司內部執行。照片為應用感測器技術之檢測機器人的實際運用案例(安裝於廠區管線)。

TECHNOLOGY

拼接

讀出電路的訊號透過TSV引至背面,因此模組可四邊相互對接,幾乎無接縫地排列。只需改變相同基本模組的排列數量,即可擴大攝像面的尺寸。

斷面與俯視比較圖:從邊緣拉出配線的一般方式會在模組之間形成無像素帶,而以TSV從背面讀出的方式則可四邊對接排列
從邊緣拉出配線的方式會在模組之間形成無像素帶。從背面讀出,即可四邊對接排列。

技術諮詢・樣品評估洽詢

從CdTe PhotonCounting FPD的樣品評估,到藍圖產品及客製化洽詢,皆可提供服務。

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