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IMAGING / CdTe PhotonCounting FPD

CdTe PhotonCounting FPD工程样品

直接转换型CdTe光子计数传感器,可逐个计数X射线光子,并在保留能量信息的同时成像。无散射线引起的模糊,从无损检测到学术研究,均可清晰呈现微细结构。

PHOTO

产品照片

CdTe PhotonCounting FPD 开发机实拍照片
LINEUP

大面积化路线图

以现行CdTe PhotonCounting FPD(有效成像区域115.2 x 115.2mm)为基础,通过拼接技术逐步实现大面积化。

2029年

15 x 15 cm

2030年

20 x 20 cm

2032年

40 x 40 cm

※产品效果图(3D建模)。尺寸比例和模块构成与实际计划不同。尺寸和时间为目前的计划,可能会有变更。

SPECIFICATIONS

规格

名称CdTe PhotonCounting FPD(简称:CdTe FPD)
探测方式直接转换型 CdTe 光子计数传感器
传感器厚度750μm/1000μm
有效成像区域115.2 x 115.2 mm
像素数1152 x 1152 像素
像素间距100μm(2band模式)/200μm(8band模式)
分辨率5 lp/mm(2band模式)
最大帧率60fps
位深16 bit
能量分辨率15级
可同时测量的能量bin数2 bin(100μm间距)/8 bin(200μm间距)
计数率2band/8band各:5×10⁵ cps,光子计数:1×10⁶ cps,数字能量积分:相当于1×10⁷ cps
最低探测能量12.5 keV
工作模式2band/8band/计数/数字能量积分
快门方式全局快门
通信方式Camera Link(Medium configuration,SDR连接器)/可转换为USB3.0・GbE
电源24V DC/5A
外形尺寸(W)350 x (D)300 x (H)63 mm
重量视定制而定
工作温度0〜30℃(无凝露)
IMAGING EXAMPLES

成像案例

本传感器的部分实际成像与实测结果。

点击图片放大→ 查看更多成像案例(图库)

TECHNOLOGY

技术详情

STRUCTURE

探测原理与结构

不将X射线转换为光,而是在CdTe晶体内直接转换为电荷。将探测元件与读出电路层叠而成的模块进行排列,构成成像面。

RESOLUTION

分辨率对比

采用无散射光模糊的直接转换方式,细线也能清晰分辨成像。通过相同剂量条件下分辨率测试卡的透射图像,以及RQA5〜8(管电压条件)下的MTF实测值,与传统方式进行对比。

分辨率测试卡3.0〜5.0 lp/mm区域。光子计数(左)可将线条分辨至5.0 lp/mm,而传统技术(右)的线条模糊成带状。

MTF实测值。与CMOS方式(Full resolution)相比,ANSeeN CdTe FPD在全频段均表现更优。

SCALING

拼接实现灵活的尺寸适配

读出电路的信号通过TSV引至背面,因此模块四边可相互对接,几乎无接缝地排列。只需改变相同基础模块的排列数量,即可扩大成像面尺寸。

PATENTS

相关专利

涉及CdTe探测元件、光子计数电路以及层叠与拼接的自有专利。按发明列出各国授权公告与公开公告的编号。

技术发明授权公开
CdTe探测元件辐射探测元件的制造方法使用CdTe晶体的探测元件制造方法JP6781868B—
辐射探测元件的制造方法、辐射探测元件及包含该元件的辐射探测器使用CdTe等半导体晶体的探测元件及其制造方法JP6758618B—
光子计数电路与像素电荷检测电路及包含该电路的辐射探测装置读出信号的电荷检测电路JP6969734B—
辐射探测器及包含该探测器的辐射成像装置用于获取X射线能谱的像素布局与传感器结构JP7201195BKR102807149BTWI806202BCN114868042EP4071519US2023341571WO2022113170
辐射成像装置降低电路功耗的像素驱动触发电路JP7534739BKR102899421BTWI818339BCN116390690US2024004092WO2022102095
辐射图像传感器以同一电路实现光子计数方式与积分方式JP7477825BKR102790266BUS2023204799WO2021199195
层叠与拼接辐射成像装置排列模块实现大面积化的拼接结构中的通信JP7239125BKR102741153BUS2023008884WO2022074732
辐射成像装置减少模块间死区的排列方式与基板连接结构JP7614592BKR102899416BUS2023378229WO2022074733
辐射成像装置探测元件模块的排列,以及基于凸点电极的层叠与连接JP7534743BTWI826931BCN117042694EP4289360KR20230136198US2024145521WO2022190321

※摘自截至2026年5月的自有专利数据。授权为授权公告(B)编号,公开为公开公告编号。各国审查状态可能发生变化。

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